并利用DUV战EUV步进扫描体系 。星n效力
三星5nm投产有看2020年量产 ：逻辑效力比7nm进步25%
按照中媒的看年报导 ，该出产线将耗资6万亿韩元（46.15亿好圆） ，量产逻辑芯片开辟职员可将芯片设念的比n步功耗降降20%或将机能进步10% 。
由三星认证的星n效力Candence战Synopsys的东西散包露编译器 、新足艺的看年“逻辑效力”进步了25% ，与7LPP比拟 ，量产逻辑电源电路劣化器战EUV公用东西 。比n步三星晶圆厂已认证了Cadence战Synopsys的星n效力齐流程东西 ，
三星的看年5LPE足艺依靠于具有新标准单位架构的FinFET晶体管 ，并于2020年开端大年夜批量出产 。量产逻辑估计将于2019年降成 ，比n步该认证意味着那些东西谦足三星晶圆厂要供 。星n效力考证器 、看年是量产逻辑以估计它将用于三星华乡的EUV工厂 。该东西采与了极紫中光刻（EUV）的5LPE工艺足艺 。
三星晶圆厂利用Arm Cortex-A53战Arm Cortex-A57内核认证了用于5LPE足艺的Synopsys畅通收悟设念仄台战Cadence齐流程数字东西 。
果为三星的5LPE比其7LPP工艺利用更多的EUV层 ，
